Technika vakuového magnetronového naprašování je použití samičího, bipolárního povrchu elektrody s magnetickým polem elektronu v povrchovém driftu katody, nastavením elektrického pole cílového povrchu kolmo k magnetickému poli elektron zvyšuje zdvih, zvyšuje rychlost ionizace plynu, zatímco vysokoenergetické částice po srážce plynou a ztrácejí energii a tím snižují teplotu substrátu, dokončete povlak na materiálu, který není odolný vůči teplotě.