Magnetronová naprašovací linka s hliníkovým zrcadlem
Hlavní rysy
- Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line se obvykle dodává s více vakuovými komorami pro dokončení vakuového potahování skleněných tabulí.
- Hlavní rysy:
- 1. Max. velikost skleněného povlaku: 2440 x 3660 mm nebo přizpůsobené
- 2. K dispozici jsou vícevakuové komory a konstrukce vícenásobné naprašovací komory
- 3. Horizontální magnetická ovládací linka má jednostrannou a dvoukoncovou strukturu;dvojité čištění skla, lakování, detekce, lakování, sušení, chlazení lze dokončit najednou
- 4. Linka na naprašování používá PLC pro řízení celého procesu a je vybavena barevnou obrazovkou pro zobrazení dat procesu nanášení
Vrstva povlaků: titan, chrom, nerezová ocel, hliník, stříbro, měď atd.
- Sloučenina: TiN, TiO2 atd.
- Tloušťka vrstvy: 5-100nm
- Přenos: 8-40 % při vlnových délkách 380-780 nm
- Teplota nanášení: pokojová teplota
- Konečný tlak po 8 hodinách odčerpávání:
- Vstupní uzavírací komora a vakuová uzavírací komora: 5×10-1 Pa nebo méně
- Vyrovnávací komora 1: 3×10-3 Pa nebo méně
- Naprašovací komora: 2×10-3 Pa nebo méně
- Vyrovnávací komora 2: 3×10-3 Pa nebo méně
- Výstupní komora a vakuová uzavírací komora: 5×10-1 Pa nebo méně
Zde napište svou zprávu a pošlete nám ji
