Inline Magnetronový naprašovací systém
Inline magnetronový naprašovací stroj je hlavně DC (nebo MF) magnetronový naprašovací povlak lze přizpůsobit široké škále cílů, jako jsou: měď, titan, chrom, nerezová ocel, nikl a další kovové materiály, které lze nanášet pomocí procesu naprašování může zlepšit adhezi filmu, reprodukovatelnost, hustotu, jednotnost a další vlastnosti.
- A.Základní charakteristiky a parametry
- b.horizontální liniová struktura může být realizována současně nanesenou na jedné straně
- C.efektivita výroby, nejvyšší rychlosti až 1 min/doba
- d.modulární konstrukce, snadná údržba
- E.zralost procesu pokovování, vysoký výnos
- F.DC magnetronové naprašovací katody se mohou lišit v závislosti na požadavcích zákazníka
- G.vakuový systém se skládá z mechanické pumpy, Rootsovy pumpy, difuzní pumpy (molekulární pumpy) Složení
- h.Velikost těla linky se může lišit v závislosti na požadavcích zákazníka
- 1) Materiály těla vakuové komory použité SUS304, leštění a ošetření stěn vakuové komory, zpracování leštících kuliček na vnější stěnu.
- 2) Pomocí nezávislého šoupátka mezi vakuovou komorou - klapkovým ventilem lze účinně odříznout a stabilizovat procesní plyn.V současné době naše společnost přijímá konstrukci klapkového ventilu, těsní lépe, odolnější než současný domácí společný klapkový ventil.
- 3) Přenos používá magnetické vedení, chrání stabilitu pohonu.Pro každou rychlost celé výrobní linky s motorovým pohonem VVVF lze upravit rychlost chodu.
- 4) Elektrický řídicí systém: Dotyková obrazovka a automatické ovládání PLC, dialog člověk-stroj pro dosažení systému zobrazení dat, provozních parametrů a řídicí technologie
- 1) Konečný podtlak: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) průměrný výrobní cyklus: podle určeného produktu
- 3) Velikost držáku substrátu: lze přizpůsobit podle požadavků
- 4) Jednotnost filmu: ± 3 % pokročilá technologie mobilních polí výrazně zlepšila využití cíle
- Konstrukce segmentového ohřívače přispívá k optimalizaci procesu.
Zde napište svou zprávu a pošlete nám ji
