-Jedno/dvoje dveře
Rám a komora jsou vyrobeny z uhlíkové nerezové oceli.
Každé dveře poskytují inspekční okénko pro vizuální kontrolu procesu.Stěny dveří jsou opatřeny vložkou z nerezové oceli, kterou lze snadno vyjmout z důvodu údržby.
- Přizpůsobená vakuová komora
Komora umožňuje snadné vyjmutí vnitřních vložek z nerezové oceli pro čištění.
Lodičky stojí na jeho zadní části.
Komora má řadu malých přírub pro účely měření.
- Systém vysokého vakua
Difuzní čerpadlo + posilovací čerpadlo + mechanické čerpadlo
-Vakuové měření a regulace
S kovovým měřidlem Pirani + kovovým ionizačním měřidlem
- Pohyblivý systém příslušenství
- Řídící jednotka PLC
- Hliníkový odpařovací systém s vysoce výkonným transformátorem
- Železný rám
Struktura je rozumná
Vrstva filmu je stejnoměrná
Kvalita tvorby filmu
Vysoká rychlost čerpání, krátký pracovní cyklus a vysoká efektivita výroby
Obsluha je pohodlná
Nízká spotřeba energie a stabilní výkon
Modelové číslo | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | K dispozici jsou dvoudveřové nebo dvoukomorové modely | |
Rozměr vakuové komory (průměr*výška) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materiál vakuové komory | Uhlíková ocel, SUS304 nebo SUS316L | ||||||
Technologie práce | vakuové odporové odpařování s wolframovými a hliníkovými vlákny, vysoce výkonný odpařovací transformátor | ||||||
Čerpací systém | Difuzní čerpadlo+mechanická čerpadla, posilovací čerpadlo | ||||||
Doba čerpání | Z atmosféry na 5,0*10-2Pa za méně než 8 minut | ||||||
Limit vakua | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Pracovní teplota | Pokojová teplota | ||||||
Pracovní režim | Automatický nebo manuální režim s 10,4palcovým dotykovým displejem PLC | ||||||
Celkový výkon | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Stopa | 2*2 metry | 2*3 metry | 3*3 metry | 3*3 metry | 3*4 metry | 4*5 metrů | 5*6 metrů |
Tyto jednotky si můžete vyrobit na míru | 1. Velikost vakuové komory 2. Konfigurace čerpadel | ||||||
Volitelné nástroje | 1. Detektor úniku 3. Obloukový systém depozice iontů 4. Magntronový naprašovací systém |